反应烧结SiC是SiC+Si组成的致密烧结体。反应烧结SiC是由α-SiC粉、石墨粉并添加助剂及有机黏结剂后压制成型，然后将素胚放在真空炉中加热1600~1800℃，使熔融硅与胚体中的碳起反应生产β-SiC。反应烧结SiC中除α-SiC和β-SiC外，还有10%~20%的游离硅，因而不耐强碱和氧化性介质的腐蚀。当反应烧结SiC用于含少量锑化合物介质中时，可观察到游离硅金属的严重化学反应和腐蚀，出现的沉淀物将破坏密封端面间的液膜。此外，用于含有金属锌、铋、钡的介质中也容易出现化合物黏着膜。 

反应烧结SiC的优点是制品的收缩率小，耐热冲击性好，因而适用于批量生产，成本低。用在砂泵、液浆泵上效果好。